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Liq Mix Cascade

Informations générales :

Description

Caractéristiques :

  • 3 capacités de 75 mL pour injection Liq
  • Débitmètres :
    • Partie Liq Mix:
    • Voie 1 Débitmètre 5 g/h
    • Voie 2 MFC 100 5000 mln/min
    • Voie 3 MFC 1 50 mln/min
    • Voie 4 MFC 10 500 mln/min
    • Voie 5 MFC 10 500 mln/min
    • Voie 6 MFC40 2000 mln/min
    • Partie Cascade :
    • Voie 22 MFC 1 50 mln/min
    • Voie 23 MFC 200 10000 mln/min
  • Matériau : Voies sulfinertes + Joints Kalrez

Gamme :

  • T° 5 à 50°C → T° gaz entrée
  • Ligne de sortie chauffée = 200°C
  • P° entrée mini 3 bars
  • Génération jusqu’à quelques ppbs
    • LiqMix + Cascade : < 1 ppb

Marque : 

  • CASCADE